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TeraSpectra: 테라헤르츠 스캐닝 분광계
TeraSpectra는 현 세대 광학 검사 기술의 공간 분해능 한계를 뛰어넘고 결함이 존재하는 위치와 깊이를 고유하게 식별하는 3D 이미징 시스템을 갖춘 혁신적인 Terahertz 나노 스캐닝 분광계입니다.
Why Applied Research & Photonics, Inc.인가?
Applied Research & Photonics, Inc.(ARP)는
반도체 및 나노 재료 연구, 테스트 및 분석에 혁신적인 기술과 서비스를 제공합니다. TeraSpectra는 아래 두 가지 주요 혁신을 제공하는 하며 다양한 수상 경력을 보유한Terahertz 스캐닝 분광계입니다.
1. 현세대 광학 검사 기술의 공간 분해능 한계를 뛰어 넘음
2. 결함이 존재하는 위치 뿐만 아니라 깊이를 식별
현재 TeraSpectra 시스템이 테스트 샘플의 손상이나 파괴 없이 제공할 수 있는 풍부한 정보를 제공할 수 있는 측정 기술은 없습니다.
Key Features & Benefits
● 재료
– 반도체 웨이퍼
– 나노소재
– 소프트한 소재
– 나노복합체
● 주요 특징
– 0.1nm 분해능
– 3차원 이미징
– Sub-Surface 검사
– 비접촉식
– 비파괴적
– 레이어별 분석
– 재료 특성:
· 격자 이미지(Lattice Image)
· 스태킹 오류(Stacking Fault)
· 다스로케이션(Dislocations)
· 나노공극(Nanovoids)
· 박리(Delamination )
